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氮化鎵單晶基片
一、合成方法
1、即使在1000℃氮與鎵也不直接反應(yīng)。在氨氣流中于1050~1100℃下加熱金屬鎵30min可制得疏松的灰色粉末狀氮化鎵GaN。加入碳酸銨可提供氣體以攪動(dòng)液態(tài)金屬,并促使與氮化劑的接觸。
2、在干燥的氨氣流中焙燒磨細(xì)的GaP或GaAs也可制得GaN。
二、材料簡(jiǎn)介
GaN材料的研究與應(yīng)用是目前全球半導(dǎo)體研究的前沿和熱點(diǎn),是研制微電子器件、光電子器件的新型半導(dǎo)體材料,并與SIC、金剛石等半導(dǎo)體材料一起,被譽(yù)為是繼第一代Ge、Si半導(dǎo)體材料、GaAs、InP化合物半導(dǎo)體材料之后的半導(dǎo)體材料。它具有寬的直接帶隙、強(qiáng)的原子鍵、高的熱導(dǎo)率、化學(xué)穩(wěn)定性好(幾乎不被任何酸腐蝕)等性質(zhì)和強(qiáng)的抗輻照能力,在光電子、高溫大功率器件和高頻微波器件應(yīng)用方面有著廣闊的前景。
優(yōu)點(diǎn)
1、工作溫度高,擊穿電壓高,抗輻射能力強(qiáng);
2、與導(dǎo)帶的其他能谷之間能量差大,則不易產(chǎn)生谷間散射,從而能得到很高的強(qiáng)場(chǎng)漂移速度(電子漂移速度不易飽和);
3、能制成各種異質(zhì)結(jié)構(gòu),已經(jīng)得到了低溫下遷移率高;
4、晶格對(duì)稱性比較低,具有很強(qiáng)的壓電性和鐵電性:在異質(zhì)結(jié)界面附近產(chǎn)生很強(qiáng)的壓電極化和自發(fā)極化,感生出高密度的界面電荷,強(qiáng)烈調(diào)制了異質(zhì)結(jié)的能帶結(jié)構(gòu),加強(qiáng)了對(duì)2-DEG的二維空間限制,從而提高了2-DEG的面密度。
山東科恒晶體材料科技有限公司
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